1908年,科布伦茨制备了用氯化钠晶体为棱镜的红外光谱仪。1950年,美国PE公司开始商业化生产名为PerkinElmer21的双光束光栅型红外光谱仪。1970年,市场上开始出现用干涉仪(Interferometer)代替色散装置,形成干涉光束后通过样品的傅里叶变换红外光谱仪。
红外光谱仪的研制可追溯的20世纪初期。1908年Coblentz制备和应用了用氯化钠晶体为棱镜的红外光谱议;1910年Wood和Trowbridge6研制了小阶梯光栅红外光谱议;1918年Sleator和Randall研制出高分辨仪器。
20世纪40年代开始研究双光束红外光谱议。1950年由美国PE公司开始商业化生产名为Perkin-Elmer21的双光束红外光谱议。与单光束光谱仪相比,双光束红外光谱议不需要由经过专门训练的光谱学家进行操作,能够很快的得到光谱图。因此Perkin-Elmer21很快在美国畅销。Perkin-Elmer21的问世大大的促进了红外光谱仪的普及。
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现代红外光谱议是以傅立叶变换为基础的仪器。该类仪器不用棱镜或者光栅分光,而是用干涉仪得到干涉图,采用傅立叶变换将以时间为变量的干涉图变换为以频率为变量的光谱图。傅立叶红外光谱仪的产生是一次革命性的飞跃。与传统的仪器相比,傅立叶红外光谱仪具有快速、高信噪比和高分辨率等特点。更重要的是傅立叶变换催生了许多新技术,例如步进扫描、时间分辨和红外成像等。这些新技术大大的拓宽了红外的应用领域,使得红外技术的发展产生了质的飞跃。